本书主要面向超精密加工领域，特别是现代光学制造方向，重点介绍几何量的超精密检测。全书共分7章，第1章是超精密检测技术概述，第2～7章分别介绍超精密位移检测技术、坐标与轮廓测量技术、超精密角度检测技术、机床几何误差检测技术、激光干涉波前检测技术和表面微观形貌检测技术，涵盖了光学制造与超精密加工装备、工艺过程和零件产品的检测等内容。
本书可作为精密工程、光学加工与检测等相关专业的研究生教学用书，也可供从事超精密检测、超精密加工、光学制造或精密计量测试研究的广大科技工作者参考。
- 目录
- 前辅文
- 第1章 超精密检测技术概述
- 1.1 超精密检测技术内涵与发展
- 1.2 几何量计量
- 参考文献
- 第2章 超精密位移检测技术
- 2.1 激光干涉测量的数理基础
- 2.2 激光干涉仪
- 2.3 激光干涉仪位移检测
- 2.4 光栅位移检测
- 2.5 超精密位移传感器及应用
- 参考文献
- 第3章 坐标与轮廓测量技术
- 3.1 精密仪器设计的阿贝原则
- 3.2 坐标测量原理与精度检定
- 3.3 激光跟踪干涉仪
- 3.4 微纳坐标测量机与超精密轮廓仪
- 参考文献
- 第4章 超精密角度检测技术
- 4.1 自准直仪与小角度计量
- 4.2 掠入射镜的斜率误差测量
- 4.3 圆分度误差的检定
- 参考文献
- 第5章 机床几何误差检测技术
- 5.1 数控轴线的运动误差检测
- 5.2 数控轴线的装配误差检测
- 5.3 机床体积误差检测
- 参考文献
- 第6章 激光干涉波前检测技术
- 6.1 几何像差与波像差
- 6.2 移相干涉测量原理
- 6.3 光学面形与波像差测量
- 6.4 非球面与自由曲面测量
- 6.5 光学平面、球面面形的计量标准
- 6.6 光学材料及元件特性的波前干涉测量方法
- 参考文献
- 第7章 表面微观形貌检测技术
- 7.1 光学表面的粗糙度计量概述
- 7.2 扫描白光干涉仪
- 7.3 扫描探针显微镜
- 7.4 其他表面粗糙度计量仪器
- 7.5 四种仪器的测量特性对比
- 参考文献
