传感器在当代科学技术中占有十分重要的地位,所有以计算机为基础的自动化、智能化系统,都需要传感器提供赖以做出实时决策的数据。近年来,作为信息获取重要手段的传感技术发展非常迅速。传感技术自身的复杂性、综合性以及应用的个性化,使得传感器的发展周期远远长于信息技术中传输与处理技术的发展周期,非常明显的发展趋势是:沿用传统的作用原理和某些新效应;优先使用晶体材料,采用微机械加工工艺和微电子技术;从传统的结构设计转向基于微机械加工工艺的微结构设计,研制各种新型传感器及传感器系统,以满足体积、质量、功耗及动态和静态特性等方面的要求。
本教材正是基于这一发展趋势来构思并选材编著的。本教材简要介绍新型传感技术的发展趋势、传感器的特性及其评估、传感技术中采用的先进材料、以硅材料为重点的先进制造技术、传感器敏感结构的建模和模拟计算方法;介绍多类具有代表性的传感器的测量原理及应用,包括:热电式传感器、应变式传感器、压阻式传感器、电容式传感器、电磁式传感器、压电式传感器、薄膜传感器、谐振式传感器、声表面波传感器等。
本教材在每一章都给出一些应用实例及分析,并配有丰富的思考题与习题。
本教材可作为测控技术与仪器、智能感知工程、电气工程及其自动化、自动化、机械工程及自动化、过程装备与控制工程、探测制导与控制技术等专业本科生的教材,也可作为仪器科学与技术、控制科学与工程、机械工程等专业研究生的教材,也可供有关的工程技术人员参考。