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新型传感技术及应用（第4版）

样章
作者：
樊尚春 刘广玉
定价：
42.60 元
版面字数：
500千字
开本：
16开
装帧形式：
平装
版次：
4
最新版次
印刷时间：
2024年
ISBN：
978-7-04-061623-1
物料号：
61623-00
出版时间：
2024-08-19
读者对象：
高等教育
一级分类：
电气/电子信息/自动化类
二级分类：
电气/自动化专业课
三级分类：
传感器与检测技术

传感器在当代科学技术中占有十分重要的地位，所有以计算机为基础的自动化、智能化系统，都需要传感器提供赖以做出实时决策的数据。近年来，作为信息获取重要手段的传感技术发展非常迅速。传感技术自身的复杂性、综合性以及应用的个性化，使得传感器的发展周期远远长于信息技术中传输与处理技术的发展周期，非常明显的发展趋势是：沿用传统的作用原理和某些新效应;优先使用晶体材料，采用微机械加工工艺和微电子技术

  • 目录
    • 前辅文
      • 第1章 绪论
        • 1.1 传感器的作用
          • 1.2 新型传感技术的发展
            • 1.2.1 新原理、新材料和新工艺的发展
              • 1.2.2 微型化、集成化、多功能和智能化发展
                • 1.2.3 多传感器融合与网络化发展
                  • 1.2.4 量子传感技术的快速发展
                  • 1.3 传感器的分类与命名
                    • 1.4 传感技术的特点
                      • 1.5 本教材的特点及主要内容
                        • *1.6 传感技术领域的学术交流
                          • 习题与思考题
                          • 第2章 传感器的特性
                            • 2.1 传感器的静态标定
                              • 2.1.1 静态标定的条件
                                • 2.1.2 传感器的静态特性
                                • 2.2 传感器的主要静态性能指标
                                  • 2.3 传感器动态特性的描述
                                    • 2.3.1 时域动态特性方程
                                      • 2.3.2 频域动态特性方程
                                      • 2.4 传感器的动态响应与性能指标
                                        • 2.4.1 时域动态响应与性能指标
                                          • 2.4.2 频域动态响应与性能指标
                                          • *2.5 加速度传感器动态特性测试及改进
                                            • *2.6 传感器噪声及其减小的方法
                                              • *2.6.1 传感器噪声产生的原因
                                                • *2.6.2 传感器的信噪比
                                                  • *2.6.3 传感器低噪声化的方法
                                                  • 习题与思考题
                                                  • 第3章 传感器与敏感材料
                                                    • 3.1 概述
                                                      • 3.2 硅材料
                                                        • 3.2.1 单晶硅
                                                          • 3.2.2 多晶硅
                                                            • 3.2.3 碳化硅
                                                              • 3.2.4 氧化硅和氮化硅
                                                              • 3.3 压电材料
                                                                • 3.4 熔凝石英
                                                                  • 3.5 弹性合金
                                                                    • 3.5.1 Ni基弥散硬化恒弹合金
                                                                      • 3.5.2 马氏体弥散硬化合金
                                                                      • *3.6 纳米材料
                                                                        • *3.7 石墨烯材料
                                                                          • 习题与思考题
                                                                          • 第4章 传感器的制造和封装技术
                                                                            • 4.1 概述
                                                                              • 4.2 体型微加工技术
                                                                                • 4.2.1 化学腐蚀
                                                                                  • 4.2.2 离子刻蚀
                                                                                  • 4.3 表面微加工技术
                                                                                    • 4.3.1 薄膜生成技术
                                                                                      • 4.3.2 牺牲层技术
                                                                                      • 4.4 LIGA技术与SLIGA技术
                                                                                        • 4.4.1 LIGA技术
                                                                                          • 4.4.2 SLIGA技术
                                                                                          • 4.5 特种精密加工技术
                                                                                            • 4.6 封装技术
                                                                                              • 4.6.1 技术要求
                                                                                                • 4.6.2 阳极键合
                                                                                                  • 4.6.3 Si-Si直接键合
                                                                                                    • 4.6.4 玻璃封接键合
                                                                                                      • 4.6.5 金属共熔键合
                                                                                                        • 4.6.6 冷压焊键合
                                                                                                        • 习题与思考题
                                                                                                        • 第5章 传感器建模的力学基础
                                                                                                          • 5.1 概述
                                                                                                            • 5.2 弹性体的应力
                                                                                                              • 5.2.1 直角坐标系中的应力平衡方程
                                                                                                                • 5.2.2 直角坐标系中弹性体边界上的应力平衡方程
                                                                                                                  • 5.2.3 平面极坐标系中的应力平衡方程
                                                                                                                    • *5.2.4 不同坐标系中应力之间的变换关系
                                                                                                                    • 5.3 弹性体的应变
                                                                                                                      • 5.3.1 直角坐标系中的几何方程
                                                                                                                        • 5.3.2 圆柱体坐标系中的几何方程
                                                                                                                          • 5.3.3 平面极坐标系中的几何方程
                                                                                                                            • *5.3.4 圆柱壳坐标系中的几何方程
                                                                                                                              • *5.3.5 球壳坐标系中的几何方程
                                                                                                                                • *5.3.6 大挠度下的几何方程
                                                                                                                                  • *5.3.7 不同坐标系中应变之间的关系
                                                                                                                                  • 5.4 弹性体的物理方程
                                                                                                                                    • 5.5 弹性体的能量方程
                                                                                                                                      • 5.5.1 弹性体的弹性势能
                                                                                                                                        • 5.5.2 弹性体外力的功
                                                                                                                                          • 5.5.3 虚功原理
                                                                                                                                            • 5.5.4 弹性体的动能
                                                                                                                                              • 5.5.5 弹性体初始内力引起的附加弹性势能
                                                                                                                                                • 5.5.6 弹性体的能量泛函原理
                                                                                                                                                  • 5.5.7 哈密顿（Hamilton）原理
                                                                                                                                                    • 5.5.8 里茨（Ritz）法
                                                                                                                                                    • 5.6 弹性体的主要边界条件
                                                                                                                                                      • 习题与思考题
                                                                                                                                                      • 第6章 传感器的建模
                                                                                                                                                        • 6.1 弹性圆柱体(杆)的建模
                                                                                                                                                          • 6.1.1 受轴向力的圆柱体
                                                                                                                                                            • 6.1.2 圆柱体拉伸振动的固有频率
                                                                                                                                                              • 6.1.3 受扭矩的圆柱体
                                                                                                                                                                • 6.1.4 圆柱体扭转振动的固有频率
                                                                                                                                                                  • 6.1.5 弹性杆弯曲振动的固有频率
                                                                                                                                                                    • 6.1.6 弹性弦丝振动的固有频率
                                                                                                                                                                    • 6.2 梁的建模
                                                                                                                                                                      • 6.2.1 受法向力的悬臂梁
                                                                                                                                                                        • 6.2.2 受轴向力的双端固支梁
                                                                                                                                                                        • 6.3 圆平膜片的建模
                                                                                                                                                                          • 6.3.1 圆平膜片的小挠度变形
                                                                                                                                                                            • *6.3.2 圆平膜片的大挠度变形
                                                                                                                                                                              • *6.3.3 圆平膜片的固有振动
                                                                                                                                                                                • *6.3.4 算例与分析
                                                                                                                                                                                • 6.4 矩形(方)平膜片的建模
                                                                                                                                                                                  • 6.4.1 矩形(方)平膜片的小挠度变形
                                                                                                                                                                                    • *6.4.2 矩形(方)平膜片的大挠度变形
                                                                                                                                                                                      • *6.4.3 方平膜片的固有振动
                                                                                                                                                                                        • *6.4.4 算例与分析
                                                                                                                                                                                        • *6.5 E形圆膜片的建模
                                                                                                                                                                                          • *6.5.1 基本方程
                                                                                                                                                                                            • *6.5.2 受集中力的E形圆膜片
                                                                                                                                                                                              • *6.5.3 受均布压力的E形圆膜片
                                                                                                                                                                                                • *6.5.4 算例与分析
                                                                                                                                                                                                • *6.6 带有顶盖的圆柱壳的建模
                                                                                                                                                                                                  • *6.6.1 基本方程
                                                                                                                                                                                                    • *6.6.2 圆柱壳环单元的有限元列式
                                                                                                                                                                                                      • *6.6.3 算例与分析
                                                                                                                                                                                                      • *6.7 顶端开口的圆柱壳的建模
                                                                                                                                                                                                        • *6.7.1 近似解析解
                                                                                                                                                                                                          • *6.7.2 底端约束的特征
                                                                                                                                                                                                          • *6.8 半球壳的建模
                                                                                                                                                                                                            • *6.8.1 半球壳的弯曲振动
                                                                                                                                                                                                              • *6.8.2 半球壳的振型进动特性
                                                                                                                                                                                                                • *6.8.3 半球壳的耦合振动
                                                                                                                                                                                                                • 习题与思考题
                                                                                                                                                                                                                • 第7章 热电式传感器
                                                                                                                                                                                                                  • 7.1 概述
                                                                                                                                                                                                                    • 7.1.1 温度的概念
                                                                                                                                                                                                                      • 7.1.2 温标
                                                                                                                                                                                                                        • 7.1.3 测温方法与测温仪器的分类
                                                                                                                                                                                                                        • 7.2 热电阻温度传感器
                                                                                                                                                                                                                          • 7.2.1 金属热电阻
                                                                                                                                                                                                                            • 7.2.2 半导体热敏电阻
                                                                                                                                                                                                                              • 7.2.3 测温电桥电路
                                                                                                                                                                                                                              • 7.3 热电偶
                                                                                                                                                                                                                                • 7.3.1 热电效应
                                                                                                                                                                                                                                  • 7.3.2 热电偶的工作原理
                                                                                                                                                                                                                                    • 7.3.3 热电偶的基本定律
                                                                                                                                                                                                                                      • 7.3.4 热电偶的误差及补偿
                                                                                                                                                                                                                                        • 7.3.5 热电偶的组成、分类及特点
                                                                                                                                                                                                                                        • *7.4 半导体温度传感器
                                                                                                                                                                                                                                          • *7.5 非接触式温度传感器
                                                                                                                                                                                                                                            • *7.5.1 全辐射式温度传感器
                                                                                                                                                                                                                                              • *7.5.2 亮度式温度传感器
                                                                                                                                                                                                                                                • *7.5.3 比色式温度传感器
                                                                                                                                                                                                                                                • *7.6 基于热电阻的气体质量流量传感器
                                                                                                                                                                                                                                                  • 习题与思考题
                                                                                                                                                                                                                                                  • 第8章 应变式传感器
                                                                                                                                                                                                                                                    • 8.1 电阻应变片
                                                                                                                                                                                                                                                      • 8.1.1 应变式变换原理
                                                                                                                                                                                                                                                        • 8.1.2 应变片结构及应变效应
                                                                                                                                                                                                                                                          • 8.1.3 电阻应变片的种类
                                                                                                                                                                                                                                                          • 8.2 应变片的温度误差及其补偿
                                                                                                                                                                                                                                                            • 8.2.1 温度误差产生的原因
                                                                                                                                                                                                                                                              • 8.2.2 温度误差的补偿方法
                                                                                                                                                                                                                                                              • 8.3 电桥电路原理
                                                                                                                                                                                                                                                                • 8.3.1 电桥电路的平衡
                                                                                                                                                                                                                                                                  • 8.3.2 电桥电路的不平衡输出
                                                                                                                                                                                                                                                                    • 8.3.3 电桥电路的非线性误差
                                                                                                                                                                                                                                                                      • 8.3.4 四臂受感差分电桥电路的温度补偿
                                                                                                                                                                                                                                                                      • 8.4 应变式传感器的典型实例
                                                                                                                                                                                                                                                                        • 8.4.1 应变式压力传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                          • 8.4.2 应变式力传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                            • 8.4.3 应变式加速度传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                              • 8.4.4 应变式转矩传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                              • 习题与思考题
                                                                                                                                                                                                                                                                              • 第9章 硅压阻式传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                • 9.1 硅压阻式变换原理
                                                                                                                                                                                                                                                                                  • 9.1.1 半导体材料的压阻效应
                                                                                                                                                                                                                                                                                    • 9.1.2 单晶硅的晶向、晶面的表示
                                                                                                                                                                                                                                                                                      • 9.1.3 压阻系数
                                                                                                                                                                                                                                                                                      • 9.2 硅压阻式传感器的典型实例
                                                                                                                                                                                                                                                                                        • 9.2.1 硅压阻式压力传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                          • 9.2.2 硅压阻式加速度传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                          • *9.3 硅压阻式传感器温度漂移的补偿
                                                                                                                                                                                                                                                                                            • 习题与思考题
                                                                                                                                                                                                                                                                                            • 第10章 电容式传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                              • 10.1 电容式敏感元件及特性
                                                                                                                                                                                                                                                                                                • 10.1.1 电容式敏感元件
                                                                                                                                                                                                                                                                                                  • 10.1.2 变间隙电容式敏感元件
                                                                                                                                                                                                                                                                                                    • 10.1.3 变面积电容式敏感元件
                                                                                                                                                                                                                                                                                                      • 10.1.4 变介电常数电容式敏感元件
                                                                                                                                                                                                                                                                                                        • 10.1.5 电容式敏感元件的等效电路分析
                                                                                                                                                                                                                                                                                                        • 10.2 电容式变换元件的信号转换电路
                                                                                                                                                                                                                                                                                                          • 10.2.1 运算放大器式电路
                                                                                                                                                                                                                                                                                                            • 10.2.2 交流不平衡电桥电路
                                                                                                                                                                                                                                                                                                              • 10.2.3 变压器式电桥电路
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                • *10.2.4 差分脉冲调宽电路
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  • *10.2.5 电容-频率接口变换电路
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    • *10.2.6 开关电容接口电路
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    • 10.3 电容式传感器的典型实例
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                      • 10.3.1 电容式压力传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        • 10.3.2 硅电容式集成压力传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          • 10.3.3 电容式加速度传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                            • 10.3.4 硅电容式集成加速度传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              • 10.3.5 硅电容式角速度传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              • *10.4 电容式传感器的结构及抗干扰问题
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                • *10.4.1 温度变化对结构稳定性的影响
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  • *10.4.2 温度变化对介质介电常数的影响
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    • *10.4.3 绝缘问题
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                      • *10.4.4 寄生电容的干扰与防止
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                      • 习题与思考题
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                      • 第11章 电磁式传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        • 11.1 电感式变换原理及其元件
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          • 11.1.1 简单的电感式变换元件
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                            • 11.1.2 差分电感式变换元件
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              • 11.1.3 差分变压器式变换元件
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              • 11.2 磁电感应式变换原理
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                • 11.3 电涡流式变换原理
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  • 11.3.1 电涡流效应
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    • 11.3.2 等效电路分析
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                      • 11.3.3 信号转换电路
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                      • 11.4 霍尔效应及元件
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        • 11.4.1 霍尔效应
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          • 11.4.2 霍尔元件
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          • 11.5 磁阻效应及元件
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                            • 11.5.1 磁阻效应
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              • 11.5.2 磁阻元件
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              • 11.6 电磁式传感器的典型实例
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                • 11.6.1 差分电感式压力传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  • 11.6.2 差分变压器式加速度传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    • 11.6.3 电磁式振动速度传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                      • 11.6.4 霍尔式振动位移传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        • 11.6.5 磁阻式转速传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          • 11.6.6 磁电式涡轮流量传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                            • 11.6.7 电磁式流量传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              • 11.6.8 基于电涡流式振动位移传感器的振动测量
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              • 习题与思考题
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              • 第12章 压电式传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                • 12.1 主要压电材料及其特性
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  • 12.1.1 石英晶体
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    • 12.1.2 压电陶瓷
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                      • 12.1.3 聚偏二氟乙烯
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        • 12.1.4 压电元件的等效电路
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        • 12.2 压电元件的信号转换电路
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          • 12.2.1 电荷放大器与电压放大器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                            • 12.2.2 压电元件的并联与串联
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                            • 12.3 典型的压电式传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              • 12.3.1 压电式压力传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                • 12.3.2 压电式加速度传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  • 12.3.3 压电式超声波流量传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    • 12.3.4 压电式温度传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    • *12.4 压电式传感器的抗干扰问题
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                      • *12.4.1 环境温度的影响
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        • *12.4.2 环境湿度的影响
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          • *12.4.3 横向灵敏度
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                            • *12.4.4 基座应变的影响
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              • *12.4.5 声噪声的影响
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                • *12.4.6 电缆噪声的影响
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  • *12.4.7 接地回路噪声的影响
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  • 习题与思考题
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  • 第13章 薄膜传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    • 13.1 概述
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                      • 13.2 薄膜应变式传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        • 13.2.1 工作原理
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          • 13.2.2 溅射合金薄膜应变片及传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                            • 13.2.3 蒸发半导体薄膜应变片及传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              • 13.2.4 薄膜应变式传感器的特点
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              • 13.3 薄膜热敏传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                • *13.4 薄膜气敏元件及传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  • *13.4.1 溅射SnO2气敏元件
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    • *13.4.2 等离子化学汽相淀积SnO2气敏薄膜元件
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                      • *13.4.3 稀土掺杂薄膜型气敏元件及敏感机理
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                      • *13.5 薄膜磁敏元件及传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        • 习题与思考题
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        • 第14章 谐振式传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          • 14.1 概述
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                            • 14.2 谐振式传感器的基础理论
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              • 14.2.1 基本结构
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                • 14.2.2 闭环系统及其实现条件
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  • 14.2.3 敏感机理
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    • 14.2.4 谐振子的机械品质因数
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                      • 14.2.5 设计要点
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        • 14.2.6 特征与优势
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        • 14.3 谐振弦式压力传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          • 14.3.1 基本结构
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                            • 14.3.2 特性方程
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                            • 14.4 谐振膜式压力传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              • 14.4.1 基本结构
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                • 14.4.2 特性方程
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                • 14.5 谐振筒式压力传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  • 14.5.1 简述
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    • 14.5.2 压电激励特性
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                      • 14.5.3 拾振信号的转换
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        • 14.5.4 稳定的单模态自激系统的实现
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          • 14.5.5 双模态的有关讨论
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          • 14.6 谐振式直接质量流量传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                            • 14.6.1 结构与工作原理
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              • 14.6.2 信号检测电路
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                • 14.6.3 密度的测量
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  • 14.6.4 双组分流体的测量
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    • 14.6.5 应用特点
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    • *14.7 谐振式角速度传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                      • *14.7.1 压电激励谐振式圆柱壳角速度传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        • *14.7.2 静电激励半球谐振式角速度传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        • 14.8 硅微结构谐振式传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          • 14.8.1 简述
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                            • 14.8.2 硅微结构谐振式压力传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              • 14.8.3 硅微结构谐振式加速度传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                • *14.8.4 硅微结构谐振式角速度传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  • *14.8.5 硅微结构谐振式质量流量传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    • *14.8.6 硅微结构谐振式传感器开环特性测试仪
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    • *14.9 石墨烯谐振式传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                      • *14.9.1 石墨烯谐振器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        • *14.9.2 石墨烯制备工艺
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          • *14.9.3 石墨烯谐振式压力传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                            • *14.9.4 石墨烯谐振式加速度传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              • *14.9.5 石墨烯谐振式角速度传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                • *14.9.6 石墨烯谐振式质量传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  • *14.9.7 石墨烯谐振式传感器需要解决的技术难点
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  • 习题与思考题
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  • 第15章 声表面波传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    • 15.1 概述
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                      • 15.2 声表面波叉指换能器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        • 15.2.1 叉指换能器的基本特性
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          • 15.2.2 叉指换能器的基本分析模型
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          • 15.3 声表面波谐振器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                            • 15.4 SAW应变传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              • 15.5 SAW压力传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                • 15.5.1 结构与闭环实现
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  • 15.5.2 特性方程
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    • 15.5.3 差分检测输出
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                    • 15.6 SAW加速度传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                      • 15.6.1 特性方程
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        • 15.6.2 动态特性分析
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                        • *15.7 SAW流量传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                          • *15.7.1 结构与原理
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                            • *15.7.2 基本方程
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                            • *15.8 SAW气体传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              • *15.8.1 工作原理
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                • *15.8.2 薄膜与传感器特性之间的关系
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                • *15.9 SAW湿度传感器
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  • 习题与思考题
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  • 参考文献

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  相关图书

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                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  李现明

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                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  洪连进

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  35.00 元 收藏

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  新型传感技术及应用（第3版）

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  樊尚春 刘广玉

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  45.70 元 收藏

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  传感器技术及应用

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  吴琼水

                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                  44.50 元 收藏